- Provoz VTM
- Přenosová komora
- Křemíkové wafery
- Procesní komory
- Čistota
- Přesnost polohování
Popis
Vakuový manipulátor SIASUN PHOENIX Series pracuje uvnitř vakuového přenosového modulu (VTM) nebo přenosové komory klastrového nástroje. Přesouvá substráty (typicky křemíkové wafery) mezi vstupními komorami (load lock) a několika procesními komorami.
Splňuje přísné požadavky na čistotu, přesnost polohování a dostupnost zařízení jako součást ekosystému front-end automatizace.
Řada Phoenix nachází uplatnění v polovodičovém průmyslu, v logistice, ve výzkumu a v inspekci.
Pro cenu a dostupnost nás kontaktujte.
Funkce
Technické parametry
| Model | Vakuový manipulátor řady PHOENIX |
|---|---|
| Typ robota | Vakuový manipulátor |
| Určené použití | Klastrové zařízení VTM |
| Značka | SIASUN |
Odvětví
Často kladené dotazy
Kontaktujte nás – sdělíme vám aktuální cenu a dodací lhůtu a připravíme nabídku na míru pro vakuový manipulátor SIASUN řady Phoenix.
Vakuový manipulátor SIASUN PHOENIX pracuje ve vakuových přenosových modulech a klastrových zařízeních. Manipulace s křemíkovými wafery s přísnými požadavky na čistotu a přesnost polohování.
Vakuový manipulátor SIASUN řady Phoenix se dobře hodí pro průmyslové nasazení.
Ano. Robotix Market dodává do celého světa s kompletní logistickou podporou, celním odbavením a poprodejní asistencí.
Ano. Robotix Market dodává firmám po celém světě včetně fakturace a poprodejní podpory. Kontaktujte nás a připravíme vám cenovou nabídku.
Naposledy zobrazené
Zatím jste si neprohlédli žádné produkty.
