- Vakuový manipulátor
- Klastrová zařízení
- Depozice/leptání
- Vakuové přechodové komory
- Metrologická stanoviště
- Vakuové podmínky
Popis
Vakuový manipulátor SIASUN řady PHOENIX PLUS pracuje uvnitř vakuových procesních zařízení, jako jsou clusterové nástroje pro depozici, leptání a související vakuové procesy.
Přenáší wafery nebo substráty mezi vstupními komorami (load lock), procesními moduly a metrologickými stanicemi při zachování řízených vakuových podmínek.
Řada Phoenix Plus je určena pro vakuovou manipulaci v polovodičovém průmyslu a průmyslových aplikacích.
Cenu a dostupnost vám sdělíme na vyžádání.
Funkce
Technické parametry
| Model | Vakuový manipulátor řady PHOENIX PLUS |
|---|---|
| Typ robota | Vakuový manipulátor |
| Určené použití | Integrace do klastrových zařízení |
| Značka | SIASUN |
Odvětví
Často kladené dotazy
Kontaktujte nás pro aktuální cenu, dostupnost a nabídku na míru na vakuový manipulátor SIASUN řady Phoenix Plus.
Vakuový manipulátor SIASUN PHOENIX PLUS pracuje v klastrových zařízeních pro depozici a leptání. Řízený vakuový přenos mezi load-lock komorami a procesními moduly.
Vakuový manipulátor SIASUN řady Phoenix Plus se dobře hodí pro průmyslové nasazení.
Ano. Robotix Market dodává do celého světa s kompletní logistickou podporou, celním odbavením a poprodejní asistencí.
Ano. Robotix Market dodává firmám po celém světě včetně fakturace a poprodejní podpory. Kontaktujte nás a připravíme vám cenovou nabídku.
Naposledy zobrazené
Zatím jste si neprohlédli žádné produkty.
