- Rozhraní front-end EFEM propojuje systém přepravy materiálu v továrně s vnitřním přenosovým prostředím procesního nástroje pro standardizované předávání waferů.
- Konstrukce kompatibilní se SEMI Prezentováno jako systém rozhraní kompatibilní se standardy SEMI pro komunikaci a integraci zařízení.
- Dvouramenný manipulační robot Dvouramenný robot s externí osou zajišťuje vysoce efektivní přesun waferů v přední části procesního zařízení.
- Kompaktní půdorys Architektura s malým půdorysem se hodí pro prostorově omezené čelní části výrobních zařízení v polovodičových továrnách.
- Flexibilní koordinace přepravy Přesouvá wafery ručně nebo v koordinaci s tovární dopravou, například se závěsnými systémy.
- Kontrola kontaminace Podporuje opakovatelné přesuny waferů a omezuje kontakt obsluhy s kritickými substráty.
Popis
SIASUN TSS-3000 je modul EFEM (Equipment Front End Module) pro výrobu polovodičů, který slouží jako řízené rozhraní mezi systémem přepravy materiálu ve fabu a vnitřním manipulačním prostředím procesního zařízení. Koordinuje zakládání, vyrovnávání a předávání waferů a zároveň pomáhá udržovat kontrolu kontaminace a standardizovanou komunikaci zařízení kompatibilní se standardy SEMI. TSS-3000 má malý půdorys a využívá dvouramenný manipulační robot s externí osou, který přesouvá wafery ručně nebo v koordinaci s továrním transportem, například se stropními dopravními systémy, a zajišťuje tak vysoce efektivní a opakovatelnou manipulaci s wafery na vstupu do zařízení. Hodí se do čistých prostor výroby waferů, kde jsou vyžadována standardizovaná rozhraní a omezený kontakt obsluhy s kritickými substráty. Cenu a dostupnost vám rádi sdělíme na vyžádání.
Funkce
Technické parametry
| Značka | SIASUN |
|---|---|
| Model | TSS-3000 |
| Typ robota | EFEM (Equipment Front End Module) / systém pro přenos waferů na vstupu zařízení |
| Rozhraní | Front-end rozhraní kompatibilní se SEMI |
| Přenosový robot | Dvouramenný robot s externí osou |
| Zastavěná plocha | Kompaktní / malý půdorys |
| Provoz | Ruční nebo koordinované s podnikovou dopravou (např. závěsné systémy) |
| Typické využití | Manipulace na vstupu výroby waferů, zakládání waferů a vyrovnání/předávání |
Odvětví
Často kladené dotazy
Kontaktujte nás pro aktuální cenu, dostupnost a cenovou nabídku na míru pro SIASUN Truss Robot.
Jde o kartézský portálový robot pro opakovatelnou manipulaci s materiálem, nejčastěji pro zakládání a vyjímání dílů z CNC strojů, mezioperační přesuny a linky procesní automatizace ve výrobní hale.
Ano. Díky velkému pracovnímu prostoru a škálovatelné délce vedení může jeden portálový robot obsluhovat několik CNC strojů nebo pracovišť, čímž snižuje počet samostatných manipulačních zařízení.
Rozhraní koncového efektoru přijímá pneumatická nebo servo chapadla, vakuové přísavky, magnetická chapadla a výměníky nástrojů, takže ho lze nakonfigurovat pro manipulaci s díly, ploché či feromagnetické povrchy a buňky s více operacemi.
Ano. Robotix Market dodává firmám po celém světě včetně fakturace a poprodejní podpory. Kontaktujte nás a připravíme vám cenovou nabídku.
Naposledy zobrazené
Zatím jste si neprohlédli žádné produkty.
