{"product_id":"siasun-tss-industrial-robot","title":"Robot SIASUN TSS-3000 EFEM pro manipulaci s wafery","description":"\u003cp\u003eSIASUN TSS-3000 je modul EFEM (Equipment Front End Module) pro výrobu polovodičů, který slouží jako řízené rozhraní mezi systémem přepravy materiálu ve fabu a vnitřním manipulačním prostředím procesního zařízení. Koordinuje zakládání, vyrovnávání a předávání waferů a zároveň pomáhá udržovat kontrolu kontaminace a standardizovanou komunikaci zařízení kompatibilní se standardy SEMI.\nTSS-3000 má malý půdorys a využívá dvouramenný manipulační robot s externí osou, který přesouvá wafery ručně nebo v koordinaci s továrním transportem, například se stropními dopravními systémy, a zajišťuje tak vysoce efektivní a opakovatelnou manipulaci s wafery na vstupu do zařízení. Hodí se do čistých prostor výroby waferů, kde jsou vyžadována standardizovaná rozhraní a omezený kontakt obsluhy s kritickými substráty. Cenu a dostupnost vám rádi sdělíme na vyžádání.\u003c\/p\u003e","brand":"SIASUN","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":67451603910946,"sku":"SIASUN-TSS-3000","price":0.0,"currency_code":"CZK","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/1022\/0693\/1234\/files\/tss3000_9b42a0a3-03a5-4334-9c7e-dc0dc1e7b415.jpg?v=1791207436","url":"https:\/\/robotixmarket.cz\/products\/siasun-tss-industrial-robot","provider":"Robotix Market Europe","version":"1.0","type":"link"}